所述功能切換口外部并聯(lián)有高純水輸入管線和沉淀劑輸入管線,所述二級(jí)過濾罐的底部設(shè)有廢液出口,所述一級(jí)過濾罐和二級(jí)過濾罐內(nèi)部均懸設(shè)有攔截固體成分的過濾筒。上述的光刻膠廢剝離液回收裝置,所述一級(jí)過濾罐和二級(jí)過濾罐的結(jié)構(gòu)相同,均由外殼、懸設(shè)于外殼內(nèi)的過濾筒、扣裝于過濾筒頂部的壓蓋組成,所述壓蓋中心設(shè)有對(duì)應(yīng)進(jìn)料管路的通孔,所述過濾筒由均勻布設(shè)多孔的支撐筒體、設(shè)于支撐筒體內(nèi)表面的金屬濾網(wǎng)、設(shè)于金屬濾網(wǎng)表面的纖維濾布組成,所述支撐筒體的上沿伸出外殼頂部并利用水平翻邊支撐于外殼上表面,所述金屬濾網(wǎng)的上沿設(shè)有與支撐筒體的水平翻邊扣合的定位翻邊,所述支撐筒體的底面為向筒體內(nèi)側(cè)凹陷的錐面。上述的光刻膠廢剝離液回收裝置,所述攪拌釜設(shè)有ph計(jì),用于檢測(cè)溶液ph值。本實(shí)用新型的有益效果是:使用時(shí),先將高純水與光刻膠廢剝離液在攪拌釜內(nèi)攪拌均勻,形成固液混合物,打開一級(jí)過濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥,固液混合物進(jìn)入一級(jí)過濾罐的過濾筒中,先由一級(jí)過濾罐的過濾筒過濾得到一級(jí)線性酚醛樹脂,濾液由提升泵送往攪拌釜的循環(huán)料口,往復(fù)設(shè)定次數(shù)后,一級(jí)線性酚醛樹脂回收完成,關(guān)閉一級(jí)過濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥。如何正確使用剝離液。揚(yáng)州銅鈦蝕刻液剝離液推薦貨源
隨著國內(nèi)電子制造產(chǎn)業(yè)和光電產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,光刻膠剝離液等電子化學(xué)品的使用量也大為増加。特別是縱觀近幾年度的光電行業(yè),風(fēng)靡全球的智能手持設(shè)備、移動(dòng)終端等簡(jiǎn)直成為了光電行業(yè)的風(fēng)向標(biāo):與之相關(guān)的光電領(lǐng)域得到了飛速的發(fā)展,鏡頭模組、濾光片、LTPS液晶顯示面板、觸摸屏幕、傳感器件等等。而光電行業(yè)的其他領(lǐng)域,雖然也有增長,但是遠(yuǎn)不及與智能手持設(shè)備相關(guān)的光電領(lǐng)域。工業(yè)上所使用的剝離液主要是有機(jī)胺和極性有機(jī)溶劑的組合物,通過溶脹和溶解方式剝離除去光刻膠。上述有機(jī)胺可包括單乙醇胺(MEA),二甲基乙酰胺(DMAC),N-甲基甲酰胺(NMF),N-甲基ニ乙醇胺(MDEA)等。上述極性有機(jī)溶劑可包括二乙二醇甲醚(DGME),二乙二醇單丁醚(BDG),二甲亞砜(DMS0),羥乙基哌嗪(NEP)等。由于LCD液晶屏具有體積小、質(zhì)量輕、清晰度高、圖像色彩好等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中,按目前使用的液晶電視、電腦顯示屏等生命周期為6-8年計(jì)算,未來隨著年代的更替,LCD的生產(chǎn)量液將會(huì)增加,從而導(dǎo)致剝離液的使用量也大量增加,剝離液大量使用的同時(shí)也產(chǎn)生大量剝離液廢液。剝離液廢液中除了含有少量高分子樹脂和光敏劑外。 深圳配方剝離液性價(jià)比高的剝離液哪里有;
根據(jù)對(duì)華新光電、日東集團(tuán)的剝離液成分進(jìn)行分析得知,剝離液主要成分為單乙醇胺(MEA),二甲亞砜(DMS0)和二乙二醇單丁醚(BDG),其中市場(chǎng)上大部分以二乙二醇單丁醚居多。剝離液廢液多呈深黑色且氣味大,由以下幾種組分構(gòu)成:(1)、1~20%重量的醇胺或者酰胺,以伯胺和腫胺為主。(2)、10~60%重量的醇;(3)、10~50%重量的水;(4)、5~50%重量的極性有機(jī)溶劑,如;N-甲基吡咯烷酮(NMP),環(huán)丁基砜、二甲基亞砜(DMSO)、二甲基乙酰胺、N-乙基甲酰胺等。(5)、~3%重量的金屬抗蝕劑,如2-氨基環(huán)己醇、2-氨基環(huán)戊醇等。根據(jù)上述分析可以看出,剝離液中大部分是有機(jī)溶劑,可以加以回收資源化利用,或者將剝離廢液進(jìn)行脫色凈化處理后再用于生產(chǎn)中,配成剝離液。當(dāng)前國內(nèi)主要產(chǎn)生剝離液的廠家主要分布在天津及深圳一帶,均是高新技術(shù)發(fā)達(dá)區(qū)域,隨著國內(nèi)經(jīng)濟(jì)及城市的發(fā)展,剝離液產(chǎn)廢地點(diǎn)將越來越,也將引起環(huán)保的重視及關(guān)注。
本發(fā)明涉及化學(xué)制劑技術(shù)領(lǐng)域:,特別涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。背景技術(shù)::隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)以及立體封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,電子器件和電子產(chǎn)品對(duì)多功能化和微型化的要求越來越高。在這種小型化趨勢(shì)的推動(dòng)下,要求芯片的封裝尺寸不斷減小。3d疊層粉妝技術(shù)的封裝體積小,立體空間大,引線距離短,信號(hào)傳輸快,所以能夠更好地實(shí)現(xiàn)封裝的微型化。晶圓疊層是3d疊層封裝的一種形式。疊層晶圓在制造的過程中會(huì)對(duì)**外層的晶圓表面進(jìn)行顯影蝕刻,當(dāng)中會(huì)用到光刻膠剝離液。哪家的剝離液配方比較好?
圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式目前剝離液機(jī)臺(tái)在工作時(shí),如果過濾剝離光阻時(shí)產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要?jiǎng)冸x液機(jī)臺(tái)內(nèi)的所有工作單元,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進(jìn)行剝離制程,使得機(jī)臺(tái)需頻繁停線以更換過濾器,極大的降低了生產(chǎn)效率。請(qǐng)參閱圖1,圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的過濾液機(jī)臺(tái)100的種結(jié)構(gòu)示意圖。本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)100,包括:依次順序排列的多級(jí)腔室10、每一級(jí)所述腔室10對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱20;過濾器30,所述過濾器30的一端設(shè)置通過管道40與當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級(jí)腔室102連接;其中,至少在管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門開關(guān)60。具體的,圖1所示出的是閥門開關(guān)60設(shè)置在管道40上的示例圖。當(dāng)當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后,通過閥門開關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20與過濾器30之間的液體流通。剝離液的類別一般有哪些。廣州市面上哪家剝離液生產(chǎn)
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當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后,通過閥門開關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20與過濾器30之間的液體流通,從而可以在閥門開關(guān)60關(guān)閉后取下被阻塞的過濾器30進(jìn)行清理并不會(huì)導(dǎo)致之后的下一級(jí)腔室102的剝離進(jìn)程無法繼續(xù)。其中,腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級(jí)向玻璃基板分別提供剝離液;與多個(gè)腔室10分別對(duì)應(yīng)連接的多個(gè)存儲(chǔ)箱20,各級(jí)腔室10分別通過管道與相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接,存儲(chǔ)箱20用于收集和存儲(chǔ)來自當(dāng)前級(jí)腔室101的經(jīng)歷剝離制程的剝離液;過濾器30用于過濾來自當(dāng)前級(jí)腔室101的存儲(chǔ)箱20的剝離液,并且過濾器30還可以通過管道與下一級(jí)腔室102連接,從而過濾器30可以將過濾后的剝離液輸送給下一級(jí)腔室102。各腔室10設(shè)計(jì)為適合進(jìn)行剝離制程,用于向制程中的玻璃基板供給剝離液,具體結(jié)構(gòu)可參考現(xiàn)有設(shè)計(jì)在此不再贅述。各級(jí)腔室10分別于相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20通過管道連接,腔室10中經(jīng)歷剝離制程后的剝離液可以經(jīng)管道輸送至存儲(chǔ)箱20中,由存儲(chǔ)箱20來收集和存儲(chǔ)。各級(jí)腔室10的存儲(chǔ)箱20分別與相應(yīng)的過濾器30通過管道連接,經(jīng)存儲(chǔ)箱20處理后的剝離液再經(jīng)相應(yīng)的過濾器30過濾后才經(jīng)管道輸送至下一級(jí)腔室102。 揚(yáng)州銅鈦蝕刻液剝離液推薦貨源